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ダナハーモーション社(米国)
精密アクチュエータ |
| DanaherMotion社のエアベアリングステージは、エアベアリング+リニアモータ+光学エンコーダ構成による完全非接触の精密アクチュエータです。 |
| 摩擦ゼロ − ダイレクトドライブの邪魔をしない高精度位置決めが可能 |
| 磨耗ゼロ − 半永久寿命でメンテナンスフリー |
| 発塵ゼロ − クリーンルームに最適 |
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| FiberBeam™ エアベアリング・リニアモータ・ポジショナ |
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| 【仕様】 |
| ストローク:20 / 50 / 100 [mm] |
| エンコーダ分解能:100 / 40 / 20 / 10
/ 1 [nm/カウント] |
| 繰り返し位置決め精度:±1 [カウント]、または±10
[nm] |
| 負荷容量:15 [kg] |
| モータ:VCMまたは3相ブラシレスサーボ |
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| AirBeam™ エアベアリング・リニアモータ・シャトル |
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| 【仕様】 |
| ストローク:305 / 610 [mm] |
| エンコーダ分解能:1 / 0.5 / 0.1 [μm/カウント] |
| 繰り返し位置決め精度:±1 [カウント] |
| 負荷容量:10 [kg] |
| モータ:3相ブラシレスサーボ |
| 最大速度:1 [m/sec] |
| 最大加速度:1 [G] |
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| モータケーブルやエンコーダケーブルをベース側に接続・固定できるムービングマグネット方式を採用。ケーブルからの発塵を抑え、ケーブル張力が原因となるモーションエラーを防ぎます。アンチクリープ・クロスローラガイドの採用で、正確な位置決めが可能です。 |
| NanoSlide-20™ リニアモータ・ステージ |
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| 【仕様】 |
| ストローク:20 [mm] |
| エンコーダ分解能:1 / 0.1 / 0.005 [μm/カウント] |
| 繰り返し位置決め精度:±1 [カウント]、または±25
[nm] |
| 負荷容量:15 [kg] |
| モータ:VCM |
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| MAG™ ムービングマグネット・リニアモータ・ステージ |
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| 【仕様】 |
| ストローク:50 / 100 / 150 / 200 /
250 [mm] |
| エンコーダ分解能:1 / 0.5 / 0.1 / 0.05
[μm/カウント] |
| 繰り返し位置決め精度:±1 [カウント] |
| 負荷容量:75 [kg] |
| モータ:3相ブラシレスサーボ |
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| ウォームギアやカプラを使用しないダイレクトドライブは、ギアの磨耗やバックラッシュ、トルク変動が無く、正確な位置決めが可能です。4点接触ボールベアリングはアキシャル/ラジアル両方向に高い剛性を持ちます。 |
| DRT-100™ ロータリテーブル |
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| 【仕様】 |
| テーブル直径:100 [mm] |
| エンコーダ分解能:4 [arc-sec] (オプションで0.4
[arc-sec]) |
| 繰り返し位置決め精度:±1 [カウント]、または±4 [arc-sec] |
| アキシャル負荷容量:40 [kg] |
| モータ:3相ブラシレスサーボ |
| 最大速度:10 [rev/sec] |
| 最大加速度:400 [rev/sec2] |
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| DRT-200™ ロータリテーブル |
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| 【仕様】 |
| テーブル直径:200 [mm] |
| エンコーダ分解能:2 [arc-sec](オプションで0.2
[arc-sec]) |
| 繰り返し位置決め精度:±1 [カウント]、または±2 [arc-sec] |
| アキシャル負荷容量:100 [kg] |
| モータ:3相ブラシレスサーボ |
| 最大速度:6 [rev/sec] |
| 最大加速度:400 [rev/sec2] |
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| 3,600 [arc-sec] = 1 [degree] |
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