SQ-100シリーズ標準モータ

■分解能：20 [nm]
■ストローク：15、25、50 [mm]
■速度：1 [μm/sec] 〜 2 [mm/sec]
■ストール負荷：5 [N]
■ハウジング長：36.6 [mm]
■環境温度：-20〜40 [℃]

市販手動ステージのマイクロメータと取付け部寸法が同じなので、SQUIGGLEモータに置換えれば簡単に自動ステージが作れます。

SQ-100Vシリーズ真空対応モータ

■真空圧力：10^-7 [Torr]

※ステージ別売

SQ-100Cシリーズ低温対応モータ

■環境温度：4 [K]
■ハウジング無し

SQ-100UHVシリーズ超高真空対応モータ

■真空圧力：10^-10 [Torr]
■ハウジング無し

コントローラ、ハンドセット、リニアステージ

■SQ-2200コントローラ（1軸）
■SQ-2001ハンドセット（1軸）

■SQ-2206コントローラ（6軸）
■SQ-2006ハンドセット（6軸）

■LS-12ステージ
■LS-12V真空対応ステージ

SQ-2115クローズドループステージ

厚さ17mmの薄型リニアステージ内部に、光学リニアエンコーダとSQUIGGLEモータを内蔵しました。

■ストローク：15 [mm]
■速度：1 [mm/sec]
■分解能：20 [nm]
■モータ負荷：5[N]
■ステージ負荷：5 [kg]
■寸法：63.5×63.5×17 [mm]

専用のSQ-3300コントローラで、3軸までクローズドループ制御が可能です。

各種OEM用モータのご相談も承ります。負荷・速度・分解能・デューティサイクル・数量をご相談ください。

■モバイル機器組込み用モータ
■非磁性モータ
■他