福田交易：NEWWAY -ラジアルエアベアリング-

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特長

非接触----------------- 高速、メンテナンスフリー、高精度

外周押さえ-------------- 大径アプリケーションを高精度で支持。外周部を押さえるので、外周部の振れが抑えられます。さらに接触式ベアリングでは成しえなかった高速回転が可能です。

アプリケーション形状------ 円筒、シリンダ、ロッド、シャフト、ピストン

アプリケーション例


ウェハ検査装置（IBS Precision Engineering社）	ラジアルエアベアリング部のアップ

凹型ラジアルベアリング仕様

寸法 (mm)
幅 W	長さ L	厚さ C	最小 WR	最大 WR	最小 LR	最大 LR
12	24	10	12	60	24	120
15	30	10	15	75	30	150
20	40	13	20	100	40	200
25	50	17	25	125	50	250
40	80	20	40	200	80	400
50	100	25	50	250	100	500
75	150	50	75	375	150	750
100	200	70	100	500	200	1000
125	250	75	125	625	250	1250
150	300	100	150	750	300	1500

注：厚さCは、ケース厚さとラジアル多孔質材最薄部の厚さの合計です。寸法 (mm)

特性
寸法 (mm)	負荷容量 (N)	剛性 (N/μm)	エア流量 (L/min)	ソケット径 (mm)	重量 (g)
12 X 24	22	6	0.24	6	6
15 X 30	44	10	0.94	6	8
20 X 40	89	17	1.18	6	26
25 X 50	156	26	1.18	6	48
40 X 80	445	46	3.07	13	145
50 X 100	756	88	3.54	13	295
75 X 150	1868	120	3.07	25	1411
100 X 200	3781	528	4.25	25	3628
125 X 250	6672	801	4.96	25	4597
150 X 300	10453	1306	5.19	25	6693

注：全ての特性は0.41 MPaを供給した場合の参考値です。

凸型ラジアルベアリング仕様

寸法 (mm)
幅 W	長さ L	厚さ C	最小 WR	最大 WR	最小 LR	最大 LR
12	24	10	12	60	24	120
15	30	10	15	75	30	150
20	40	13	20	100	40	200
25	50	17	25	125	50	250
40	80	20	40	200	80	400
50	100	25	50	250	100	500
75	150	50	75	375	150	750
100	200	70	100	500	200	1000
125	250	75	125	625	250	1250
150	300	100	150	750	300	1500

注：厚さCは、ケース厚さとラジアル多孔質材最薄部の厚さの合計です。

寸法 (mm)
寸法 (mm)	負荷容量 (N)	剛性 (N/μm)	エア流量 (L/min)	ソケット径 (mm)	重量 (g)
12 X 24	22	6	0.24	6	6
15 X 30	44	10	0.94	6	8
20 X 40	89	17	1.18	6	26
25 X 50	156	26	1.18	6	48
40 X 80	445	46	3.07	13	145
50 X 100	756	88	3.54	13	295
75 X 150	1868	120	3.07	25	1411
100 X 200	3781	528	4.25	25	3628
125 X 250	6672	801	4.96	25	4597
150 X 300	10453	1306	5.19	25	6693

注：全ての特性は0.41 MPaを供給した場合の参考値です。