|
|
 VPLベアリング
|
 |
VPL（バキューム・プリロード）・エアベアリングはバキュームエアを使用し本体がガイド面を引き付けると同時に、加圧エアを供給することでガイド面から浮上させます。
エアの加圧側・減圧側の供給量や供給圧を調節することにより、浮上高さや剛性を最適な条件に設定することが可能です。
浮上高さの調節により、ストーク内でのフォーカシング、スクエアリングおよび垂直方向でのサブミクロン単位での位置決めが可能です。 |
 |
| VPL・エアベアリングは、単体でガイド面に保持されます。 |
| VPL・エアベアリングの取り付けには、専用のマウントをご用意しております。 フレクチャ・マウントは、VPL・エアベアリングのため特別に設計てた、各方向からの荷重に対しピボットのような動きをするマウントです。 |
|
取扱商品
NEWWAY TOPPAGE
